Категория
Коммуникации и связь
Тип
реферат
Страницы
15 стр.
Дата
31.03.2014
Формат файла
.html — Html-документ
Архив
1014192.zip — 10.19 kb
  • fotolitografija_1014192_1.html — 36.86 Kb
  • Readme_docus.me.txt — 125 Bytes
Оцените работу
Хорошо  или  Плохо



Текст работы

ПОЯСНЮВАЛЬНАЗАПИСКА

ФОТОЛІТОГРАФІЯ


Содержание

 

1. Задание напроект.

2. Реферат.

3. Список условныхобозначений и сокращений.

4. Вступление.

5. I информация о заводе.

6. «Преобразователь.

7. Вывод.


Условныеобозначения

ФШ – фотошаблон.

ФЛ – фотолитография.

ФР – фоторезистор.

Задание напроект

Цель работы: изучить суть процесса литографии.

Объект изучения: пластины кремния.

Вывод: в процессе изучения методафотолитографии, мной была изучена суть метода его назначение и технологическийпроцесс.


Техникабезопасности

Производствополупроводникового кремния связано с использованием и получением огневзрывопожароопасныхи токсичных веществ, электроэнергии и др. поэтому необходимо знать некоторыехарактеристики исходных, промежуточных и конечных продуктов, а также общиеправила безопасности при работе с электроустановками и оборудованием.

Действие кремниевой пылина организм человека подробно не исследовано. Предельно допустимая концентрация(ПДК), принятая для аэрозоля кремния, 4 г/м3 [288]. Класс опасностикремния по ГОСТ 12. 1. 007 – 76 не определен, вместе с тем, аэрозолькремнемедного сплава отнесен к четвертому классу опасности [289].Кристаллический кремний – не горючий материал. Мелкодисперсная пыль кремния всмеси с воздухом образует взрывопожарные смеси.

Для защиты органовдыхания используют респираторы, для защиты кожи – плотную спецодежду, рукавицы,обувь. Для снижения концентрации пыли в воздухе помещения, необходимо проводитьтщательную влажную уборку кремниевой пыли не реже 2 раз в год и влажную уборкурабочих мест – ежемесячно. Необходимо также



Ваше мнение



CAPTCHA