Категория
Информатика
Тип
реферат
Страницы
26 стр.
Дата
23.03.2013
Формат файла
.html — Html-документ
Архив
254416.zip — 16.81 kb
  • ionnye-nasosy-v-texnologii-mems_254416_1.html — 69.31 Kb
  • Readme_docus.me.txt — 125 Bytes
Оцените работу
Хорошо  или  Плохо


Текст работы

Ионные насосы в технологии MEMS

Оглавление


Общая характеристика вакуумных насосов

Ионные насосы

Ионные насосы с горячим катодом

Ионно-сублимационный насос с подачей титана

Ионно-сублимационные триодные насосы

Электростатический ионно-сублимационный насос

Ионные насосы с холодным катодом

Насосы, основанные на принципе ионно-сорбционной откачки

Технология MEMS


Общая характеристика вакуумных насосов


Все вакуумные насосы можно разделить на высоковакуумные и низковакуумные, а по физическому принципу действия - на механические, сорбционные, ионные. Среди механических насосов выделяют объёмные и молекулярные, основанные на передаче количества движения молекулам газа от движущихся поверхностей.

Насосы объёмного типа осуществляют откачку за счёт периодического изменения объёма рабочей камеры. Этот тип вакуумных насосов появился раньше остальных и получил широкое применение в различных конструкциях: поршневая, жидкостно-кольцевая и ротационная.

Среди насосов с передачей количества движения молекулам газа различают: водоструйные, эжекторные, диффузионные и молекулярные. Их характеристики можно рассчитать на основании закономерностей внутреннего трения в газах.

Сорбционные явления в вакууме широко используются для откачки газов из вакуумных систем. На принципе хемосорбции основана работа испарительных насосов. Физическая адсорбция и конденсация используются для откачки газов криосорбционными насосами: адсорбционными и конденсационными.

Направленное движение предварительно заряженных молекул газа под действием электрического поля является основой работы ионных насосов. Принцип ионной откачки совместно с сорбционным используется в конструкциях ионно-сорбционных насосов.



Ваше мнение



CAPTCHA