Категория
Издательское дело и полиграфия
Тип
реферат
Страницы
40 стр.
Дата
07.04.2014
Формат файла
.html — Html-документ
Архив
1017360.zip — 23.12 kb
  • komplekt-texnologicheskoj-dokumentacii-po-opticheskoj-kontaktnoj-litografii_1017360_1.html — 97.48 Kb
  • Readme_docus.me.txt — 125 Bytes
Рейтинг
10  из 10
Оценок
1
Оцените работу
Хорошо  или  Плохо


Текст работы

Комплект технологической документации по оптическойконтактной литографии

Разработал студент: Семин В. В.

МГОУ

Москва 2010 г.

Введение

Оптическая литографияобъединяет в себе такие области науки, как оптика, механика и фотохимия. Прилюбом типе печати ухудшается резкость края (рис. 1). Проецирование двумерногорисунка схемы ведет к уменьшению крутизны края, поэтому нужен специальныйрезист, в котором под воздействием синусоидально модулированной интенсивностипучка будет формироваться прямоугольная маска для последующего переносаизображения травлением. Если две щели размещены на некотором расстоянии друг отдруга, то неэкспонируемый участок частично экспонируется по следующим причинам:

1) дифракция;

2) глубина фокусаобъектива;

3) низкоконтрастныйрезист;

4) стоячие волны(отражение от подложки);

5) преломление света врезисте.

/>

Таким образом, задачафотолитографии заключается в том, чтобы обеспечить совмещение и воспроизвести врезисте двумерный рисунок фотошаблона с точностью в пределах ±15% от номинального размера его элементов и с 5%-нымдопуском на требуемый наклон краев. Послойное совмещение приборных структурдолжно осуществляться с точностью не хуже ±25% от размераминимального элемента. Используемые в фотолитографии источники экспонирующегоизлучения бывают как точечными (лазеры), так и протяженными (ртутные лампы).Спектр излучения этих источников лежит в трех основных спектральных диапазонах:Дальний УФ от 100 до 200-300 нм;

Средний УФ 300-360 нм;Ближний УФ от 360-450.

Современные литографические процессы в технологии ППП и ИС.

Плотность элементов вкристалле ИМС достаточно велика и к настоящему времени существенно превысиларубеж 100000. Это достигнуто за счёт уменьшения минимального геометрическогоразмера, который уже составляет величину порядка 1 мкм. Последнееобстоятельство связано с усовершенствованием в первую очередь



Ваше мнение



CAPTCHA